在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，檢測是提升良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，主要針對晶圓上的物理缺陷和圖案缺陷。光學(xué)檢測憑借非接觸、快速和低成本的優(yōu)勢成為主流方案，而光源的性能直接影響檢測效率與可靠性--高亮度、高穩(wěn)定和多波長選擇缺一不可。 

傳統(tǒng)鹵素?zé)粢驂勖蹋?lt;1000小時）、亮度不足、紫外波段覆蓋差且面臨環(huán)保淘汰，已無法滿足需求。Revox的SLG系列光纖光源以超高亮度、＞2萬小時超長壽命和紫外到紅外的多波長覆蓋，成為半導(dǎo)體、顯示及PCB檢測的理想選擇，助力客戶實現(xiàn)更高效、穩(wěn)定的檢測流程。

短波長、高精度（SLG-150V-UV系列）

• 非常適合替換汞燈
• 高輻射亮度：4.9W@365nm、8.2W@385nm、7.6W@405nm
• 除?3?種標準波長外，還可定制11種紫外波長

經(jīng)濟之選（SLG-150V/165V系列）

• 照度>500萬LUX，遠超250W金屬鹵化物光源

• 波長可選白色（CW/DW）R、G、B
• 165V系列支持5孔電動濾色片轉(zhuǎn)盤

多端口、分時頻閃（SLG-150HSP系列）

• 支持3路獨立輸出，節(jié)省空間
• 可自由選配顏色W、R、G、B
• 支持高速頻閃結(jié)合高速切換功能，可輕松實現(xiàn)分時頻閃/光譜頻閃

超亮、自由混光（SLG-450系列）

• 超高照度超過2500萬LUX
• R、G、B混合比例可調(diào)、鎖定，單口輸出各種顏色光

• 支持常亮、頻閃模式，可設(shè)置8組亮度值

旗艦、超亮之選（SLG-600V2系列）

• ＞5500萬LUX超高照度，氙燈升級首選

• 可選支持5孔位電動濾色片轉(zhuǎn)盤
• 1μs極速頻閃，高速切換任意設(shè)定的亮度

更強的穿透性（SLG-150V-NIR系列）

• 740-1650nm全紅外波段覆蓋，11種波長可選，完美替代鹵素光源
• 超長壽命可達3萬小時，遠超鹵素?zé)?/li>

支持1024級調(diào)光，獨特校正功能，實現(xiàn)調(diào)光線性

環(huán)境適應(yīng)性強，亮度波動≤±3%

智能照度反饋，維持恒定光輸出

注：SLG-150/165系列需選配；SLG-450/SLG-600系列標配

可選或定制點、環(huán)、線、面等光波導(dǎo)

超亮白光搭配線掃TDI相機，顯著縮短曝光時間，大幅提升晶圓掃描效率

紅外高穿透特性，直達內(nèi)部缺陷

突破可見光極限，微痕精準成像

單工位實現(xiàn)3種光場成像，多類缺陷檢出