在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，檢測(cè)是提升良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，主要針對(duì)晶圓上的物理缺陷和圖案缺陷。光學(xué)檢測(cè)憑借非接觸、快速和低成本的優(yōu)勢(shì)成為主流方案，而光源的性能直接影響檢測(cè)效率與可靠性--高亮度、高穩(wěn)定和多波長(zhǎng)選擇缺一不可。 

傳統(tǒng)鹵素?zé)粢驂勖蹋?lt;1000小時(shí)）、亮度不足、紫外波段覆蓋差且面臨環(huán)保淘汰，已無(wú)法滿足需求。Revox的SLG系列光纖光源以超高亮度、＞2萬(wàn)小時(shí)超長(zhǎng)壽命和紫外到紅外的多波長(zhǎng)覆蓋，成為半導(dǎo)體、顯示及PCB檢測(cè)的理想選擇，助力客戶實(shí)現(xiàn)更高效、穩(wěn)定的檢測(cè)流程。

短波長(zhǎng)、高精度（SLG-150V-UV系列）

• 非常適合替換汞燈
• 高輻射亮度：4.9W@365nm、8.2W@385nm、7.6W@405nm
• 除?3?種標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)外，還可定制11種紫外波長(zhǎng)

經(jīng)濟(jì)之選（SLG-150V/165V系列）

• 照度>500萬(wàn)LUX，遠(yuǎn)超250W金屬鹵化物光源

• 波長(zhǎng)可選白色（CW/DW）R、G、B
• 165V系列支持5孔電動(dòng)濾色片轉(zhuǎn)盤

多端口、分時(shí)頻閃（SLG-150HSP系列）

• 支持3路獨(dú)立輸出，節(jié)省空間
• 可自由選配顏色W、R、G、B
• 支持高速頻閃結(jié)合高速切換功能，可輕松實(shí)現(xiàn)分時(shí)頻閃/光譜頻閃

超亮、自由混光（SLG-450系列）

• 超高照度超過(guò)2500萬(wàn)LUX
• R、G、B混合比例可調(diào)、鎖定，單口輸出各種顏色光

• 支持常亮、頻閃模式，可設(shè)置8組亮度值

旗艦、超亮之選（SLG-600V2系列）

• ＞5500萬(wàn)LUX超高照度，氙燈升級(jí)首選

• 可選支持5孔位電動(dòng)濾色片轉(zhuǎn)盤
• 1μs極速頻閃，高速切換任意設(shè)定的亮度

更強(qiáng)的穿透性（SLG-150V-NIR系列）

• 740-1650nm全紅外波段覆蓋，11種波長(zhǎng)可選，完美替代鹵素光源
• 超長(zhǎng)壽命可達(dá)3萬(wàn)小時(shí)，遠(yuǎn)超鹵素?zé)?/li>

支持1024級(jí)調(diào)光，獨(dú)特校正功能，實(shí)現(xiàn)調(diào)光線性

環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，亮度波動(dòng)≤±3%

智能照度反饋，維持恒定光輸出

注：SLG-150/165系列需選配；SLG-450/SLG-600系列標(biāo)配

可選或定制點(diǎn)、環(huán)、線、面等光波導(dǎo)

超亮白光搭配線掃TDI相機(jī)，顯著縮短曝光時(shí)間，大幅提升晶圓掃描效率

紅外高穿透特性，直達(dá)內(nèi)部缺陷

突破可見光極限，微痕精準(zhǔn)成像

單工位實(shí)現(xiàn)3種光場(chǎng)成像，多類缺陷檢出